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金属蚀刻加工过程影响侧蚀的因素有哪些?


金属蚀刻加工过程影响侧蚀的因素有哪些?
1.金属蚀刻加工影响侧蚀的因素
1)蚀刻方式:浸泡和鼓泡式蚀刻会造成较大的侧蚀,泼溅和喷淋式蚀刻侧蚀较小,尤以喷淋蚀刻效果最好。
2)蚀刻液的种类:不同的蚀刻液化学组分不同,其蚀刻速?#31034;?#19981;同,蚀刻系数也不同。例如:酸?#26376;?#21270;铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3,碱?#26376;?#21270;铜蚀刻液的蚀刻系数可达到4。近来的研究表明,以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀,达到蚀刻的线条侧壁接近垂直。这种蚀刻系统正有待于开发。
3)蚀刻速率:蚀刻速?#20107;?#20250;造成严重侧蚀。蚀刻质量的提高与蚀刻速率的加快有很大关系。蚀刻速度越快,板子在蚀刻液?#22411;?#30041;的时间越短,侧蚀量越小,蚀刻出的?#22841;?#28165;晰整齐。
4)蚀刻液的PH值:碱性蚀刻液的PH值较高时,侧蚀增大。峁见图10-3为了减少侧蚀,一般PH值应控制在8.5以下。
5)蚀刻液的密度:碱性蚀刻液的密度太低会加重侧蚀,见图10-4,选用高铜浓度的蚀刻液对减少侧蚀是有利的.
6)铜箔厚度:要达到最小侧蚀的细导线的蚀刻,最好采用(超)薄铜箔。而且线宽?#36739;福?
铜箔厚度应越薄。因为,铜箔越薄在蚀刻液中的时间越短,侧蚀量就越小。
2.提高板子与板子之间蚀刻速率的一致性
在连续的板子蚀刻中,蚀刻速率越一致,越能获得均匀蚀刻的板子。要达到这一要求,必须保证蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在最佳的蚀刻状态。这就要求选择容?#33258;?#29983;和补偿,蚀刻速率容易控制的蚀刻液。选用能提供恒定的操作条件和对各种溶液?#38382;?#33021;自动控制的工艺和设备。通过控制溶铜量,PH值,溶液的浓度,温度,溶液流量的均匀性(喷淋系统或喷嘴以及喷嘴的摆动)等?#35789;?#29616;。
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