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关于蚀刻状态不相同的问题


  大量涉及蚀刻面的质量问题都集中在上板面被蚀刻的部分, 而这些问题来自于蚀刻剂所产生的胶状板结物的影响。对这一点的了解是十分重要的, 因胶状板结物堆积在铜表面上﹐一方面会影响喷射力﹐另一方面会阻档了新鲜蚀刻液的补充﹐使蚀刻的速度被?#26723;汀?#27491;因胶状板结物的形成和堆积, 使得基板上下面的?#22841;?#30340;蚀刻程度不同, 先进入的基板因堆积?#24418;?#24418;成﹐蚀刻速度较快, 故容易被彻底地蚀刻或造成过腐蚀﹐而后进入的基板因堆积已形成﹐而减慢了蚀刻的速度。
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