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简析金属蚀刻的速度问题


  只要一谈到金属蚀刻,其蚀刻速度就是一个非常受大家关注的问题,同时了解深圳千钢科技的客户们也会发现千钢科技原以前的培训资?#29616;?#22810;次讲到需要快的蚀刻速度。但蚀刻速度并不是越快越好,这要具体情况具体分析,这个具体情况就是对深度及蚀刻表面状态的要求,这个状态其实就是平滑度,在这两个要求中最为关键的是蚀刻深度的要求。对于一个需要进行化学蚀刻的产品,不管是要求深的蚀刻还是要求浅的蚀刻都有一个共同的准则,那就是深度的均匀性。
  蚀刻浓度的均匀性主要受四个方面的影响:材料、蚀刻溶液、蚀刻过程的物理?#38382;?#21644;蚀刻效率的需要,当需要较深蚀刻要求时,材料的因素并不重要(材质质?#21051;?#24046;例外),同时为了生产效率的需要,要通过对蚀刻溶液浓度、配方组成的调整及蚀刻物理?#38382;?#30340;调整来提高蚀刻速度,即便是这样也不需要“越快越好的蚀刻速度”。因为太快的速度会使溶液成分变化太快,会返过?#20174;?#21709;到物理?#38382;?#30340;控制难度,同时也会使被蚀刻的金属表面溶解速度不能一致辞,使蚀刻后的表面平滑度降低。对常用金属材料的蚀刻以现有技术水平完全可以做较高的蚀刻速度,可达0.1mm/min以上,这么快的速度需要腐蚀能力更强的配方及更高的浓度为了维持溶液成分的相对稳定可以采用大体积或自动分析调整技术,但在这里就有一个可用于批量生产的防蚀层怎么制作的问题。本资料所讲的一定是批量生产而不是实验室的工作。
  所以快的蚀刻速度只是一个相对概念,是在容易控制的同时,防蚀层制作成本可接受、蚀刻浓度均匀的前提下,快的蚀刻速度才有意义的。
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